飞秒激光是对于局部材料烧蚀具有高加工精度和清洁度的有力工具。
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飞秒激光器使硅上的蛾眼AR结构能够抑制 0.3 至 2.5 THz 范围内的反射损失,从而使最大传输率达到 91%。
飞秒激光写入使得能够在碳化硅和氮化镓中写入与空位相关的色心。
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